MEMS开关悬臂梁建模及有限元分析

• 作者: 张亚 李波 潘晓琳
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: SolidWorks Simulation 悬臂梁 质量块 有限元 CAE方法
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 计算机应用技术
• 页码范围: 57-59
• 分类号: TH824
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.2013.11.015

摘要

在传统式的以绝缘体上硅即SOI为基底的MEMS接触式开关基础上进行模型的设计及优化.利用SolidWorks三维建模软件建立MEMS开关悬臂梁和质量块的三维模型,以SolidWorks Simulation仿真软件对悬臂梁进行有限元分析,网格的划分、载荷分析、应力分析以及位移分析并进行二次优化设计从而达到最佳方案.最终选择六边形的多孔质量块作为配重,选取扭梁结构作为梁最终结构,使梁在受到相同的惯性力的作用下应力更小、体积更小、灵敏度更高.最终提高MEMS开关的可靠性与灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张亚	中北大学机电工程学院	112	370	8.0	11.0
2	李波	中北大学机电工程学院	40	175	7.0	11.0
3	潘晓琳	中北大学机电工程学院	2	4	2.0	2.0