密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限

• 作者: 肖祥正 薛大同
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 等效标准漏率
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 721-729
• 分类号: TB774+.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.08.01

摘要

利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L＜ 1.4 Pa·cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态；当任务允许的L最大值Lmax＜14 Pa·cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态；仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa· cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守；而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L＜ 1.4 Pa· cm3/s,气流均处于分子流状态.从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa·cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛大同	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	8	45	4.0	6.0
2	肖祥正	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	3	11	2.0	3.0