与CMOS工艺兼容的皮拉尼传感器研究

• 作者: 唐祯安 汪家奇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 皮拉尼传感器 CMOS 工艺 MEMS 微热板
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.01.007

摘要

皮拉尼传感器广泛用于105 Pa～10-1 Pa的粗真空测量.本文在基于MEMS工艺的皮拉尼传感器的基础上研制了一款与标准CMOS 工艺兼容的皮拉尼传感器.它采用钨微热板作为敏感元件,工作在恒电流模式下.该传感器利用0.5μm标准CMOS工艺加工,对10-1Pa～ 105 Pa的气压有响应,尤其对1Pa～100Pa气压具有线性响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学半导体技术学院电子科学与技术学院	142	1281	17.0	29.0
2	汪家奇	大连理工大学半导体技术学院电子科学与技术学院	10	24	3.0	4.0