一种HgCdTe探测器微型杜瓦的设计和工艺研究

• 作者: 杜彬 杨冬冬 许宜民
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: 杜瓦 真空寿命 斯特林制冷机
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 低温技术
• 页码范围: 5-8,38
• 页数: 5页
• 字数: 4731字
• 语种: 中文

摘要

介绍一种用于冷却HgCdTe探测器微型制冷杜瓦组件,该组件由旋转马达驱动型斯特林制冷机冷却,杜瓦采用插入式结构,制冷机与杜瓦之间用耦合单元来传递冷量.设计中的关键技术是尽可能减少漏热损失、高效传递冷量以降低斯特林制冷机的热负荷,同时为了达到长期保持杜瓦内真空度的要求,制造过程中还需要进行一系列的工艺处理.本文重点介绍插入式杜瓦用于冷却HgCdTe探测器芯片的结构设计以及工艺解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜彬	中国电子科技集团公司电子第十六研究所	8	22	3.0	4.0
2	许宜民	中国电子科技集团公司电子第十六研究所	1	3	1.0	1.0
3	杨冬冬	中国电子科技集团公司电子第十六研究所	2	3	1.0	1.0