XJPD-900磁控溅射设备的控制软件编程及工艺试验

• 作者: 侯荣华 汪光武 陆阳
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 自动控制 人机界面 PLC
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文

摘要

本文对XJPD-900磁控溅射生产线的控制系统进行了设计,重点对应用PLC和iFix组态软件实现工艺过程自动控制以及EXCEL表格数据存储等的程序做了设计分析,完成了整机的工艺试验.设备使用证明控制系统界面清晰友善、操作方便,系统稳定可靠、工艺重复性好,达到了设计目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪光武		3	1	1.0	1.0
2	侯荣华		2	0	0.0	0.0
3	陆阳		1	0	0.0	0.0