非晶硅薄膜光谱响应研究

• 作者: 何存玉 刘永 刘爽 尹潘薇 张尚剑 曲鹏程 陈德军 陈逢彬
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅薄膜 光谱响应 渐变带隙
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 1002-1004
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

利用Matlab软件计算了基于本征吸收的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真出由多个不同带隙的薄膜组成的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真了薄膜厚度、光学禁带宽度参数对非晶硅薄膜光谱响应的影响,设计出一种渐变带隙的非晶硅薄膜.结果表明渐变带隙的非晶硅薄膜能有效拓宽薄膜的光谱响应范围,也能提高光谱中对各个波长的响应值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘爽	电子科技大学光电信息学院	65	410	11.0	17.0
2	张尚剑	电子科技大学光电信息学院	21	110	5.0	10.0
3	刘永	电子科技大学光电信息学院	52	105	5.0	7.0
4	陈德军	电子科技大学光电信息学院	12	39	4.0	6.0
5	曲鹏程	电子科技大学光电信息学院	1	2	1.0	1.0
6	陈逢彬	电子科技大学光电信息学院	1	2	1.0	1.0
7	何存玉		2	2	1.0	1.0
8	尹潘薇		2	2	1.0	1.0