瑞萨为氧化物半导体应用于CMOS电路开辟道路

• 作者: 宏海
• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化物半导体 CMOS电路 玻璃基板 多层布线 漏极 应用领域 通态电流 电源接口 芯片制造 掩模
• 年，卷（期）: bdtxx_2013,（3）
• 页码范围: 18-18
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.21

摘要

【正】氧化物半导体的应用领域不仅局限于显示器驱动晶体管,现在还提出了在玻璃基板和柔性基板上集成使用氧化物半导体的透明运算电路等独特应用。不过,氧化物半导体存在难以实现CMOS电路的缺点,因为很难形成p型晶体管,以前推出的In-Ga-Zn-O晶体管全是n型。