微机械加速度计中的寄生电容对噪声的影响

• 作者: 刘义冬 朱忠益 金仲和
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电加速度计 寄生电容 噪声分析 电容检测
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.01.004

摘要

主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响,建立敏感元件的电磁仿真模型,进行噪声公式的推导,并得到了实验验证.通过仿真分析发现,铝电极下的玻璃衬底是增大该寄生电容的主要因素.实验结果表明,该寄生电容会增加60％以上的系统噪声.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学微小卫星研究中心	144	1047	18.0	25.0
2	朱忠益	浙江大学微小卫星研究中心	1	3	1.0	1.0
3	刘义冬	浙江大学微小卫星研究中心	3	10	2.0	3.0