牛津仪器纳米级等离子体工艺研讨会在京召开

• 来源期刊: 实验与分析
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体工艺 纳米级 仪器 牛津 等离子工艺 等离子技术 用户参与 科研院所
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 9-9
• 页数: 1页
• 分类号: TQ325.06

摘要

近日，由牛津仪器等离子技术公司主办的“牛津仪器纳米级等离子工艺研讨会”在京举行，吸引了来自业内企业及科研院所的160余名用户参与。