炭/炭复合材料分体坩埚的研制开发

• 作者: 乔子路 啜艳明 杨海春 王利强 王金铎
• 来源期刊: 炭素技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅炉 分体坩埚 成本 寿命
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 44-45,76
• 分类号: TB332
• 语种: 中文

摘要

研制了一种单晶硅炉用炭/炭复合材料分体坩埚,重点讨论了炭/炭复合材料坩埚帮的设计制造、石墨底托的设计、底托与坩埚帮的结合等问题.通过试制品在客户单晶硅拉制过程中的应用,满足了成本低、寿命长的要求,达到了研制的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金铎		4	2	1.0	1.0
2	杨海春		1	2	1.0	1.0
3	啜艳明		4	2	1.0	1.0
4	乔子路		1	2	1.0	1.0
5	王利强		1	2	1.0	1.0