多自由度短行程超精密平面电机技术发展综述

• 作者: 寇宝泉 张赫
• 来源期刊: 电工技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面电机 超精密定位 多自由度 短行程 重力补偿器
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 特种电机专题
• 页码范围: 1-11
• 页数: 11页
• 分类号: TM35
• 字数: 6339字
• 语种: 中文

摘要

多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点,在半导体光刻加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精密加工装备领域具有广阔的应用前景,近年来受到学术界的广泛关注.本文介绍了多自由度短行程超精密平面电机的研究现状,对近年来国内外用于实现超精密定位的主流结构进行了综述,总结了目前超精密平面电机的主要研究内容与关键技术,并讨论了其未来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	寇宝泉	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	71	809	16.0	26.0
2	张赫	哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院	31	358	12.0	18.0