亚微米电解加工的试验研究

• 作者: 吴修娟 曲宁松 曾永彬 朱荻 王玉峰
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳电解加工 亚微米电解加工 Ag纳米线 工具电极
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 777-781
• 页数: 5页
• 分类号: TG662|V261.5
• 字数: 3667字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0505.2013.04.019

摘要

为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电解加工时亚微米工具电极会发生溶解;当溅射层厚度约为310 nm时,溅射层的内应力过大,亚微米工具电极出现弯曲.因此,采用溅射层厚度约为150 nm的亚微米工具电极进行亚微米电解加工.在浓度为0.1mol/L的H2SO4电解液中,施加电压为4V、周期为50 ns、脉宽为6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,于高温合金试件表面成功加工出亚微米沟槽,沟槽长约30 μm,深约80 nm,底部最窄处约为450nm,入口最宽处约1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
2	曲宁松	南京航空航天大学机电学院	95	905	19.0	24.0
3	曾永彬	南京航空航天大学机电学院	54	480	14.0	18.0
4	王玉峰	南京航空航天大学机电学院	5	15	2.0	3.0
5	吴修娟	南京航空航天大学机电学院	4	9	2.0	2.0