热处理气氛对溶胶凝胶法制备CuAlO2薄膜的影响

• 作者: 任洋 刘灵军 李颖 章晨曦 赵高扬 高贇
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: CuAlO2 薄膜 热处理 气氛 溶胶凝胶
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 163-167
• 分类号: TN304
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶凝胶法,通过控制热处理气氛在石英玻璃基片上制备了光电性能优良的CuAlO2薄膜,研究了氧气和氮气对CuAlO2薄膜制备的影响.结果表明,CuAlO2薄膜的制备先后经历了凝胶膜的热分解、无定形薄膜、固相反应、CuAlO2形核与长大4个过程.固相反应阶段前通氧气,能够促进中间产物CuO的生成,之后通氮气可以使中间产物CuO与CuAl2O4发生固相反应生成CuAlO2,最终制备的CuAlO2薄膜结晶状况良好、晶粒较大,表面均匀致密,没有孔洞,电阻率为250 Ω·cm,薄膜在700 nm处的透过率为75.5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
2	李颖	西安理工大学材料科学与工程学院	6	17	3.0	3.0
3	任洋	西安理工大学材料科学与工程学院	4	10	2.0	3.0
4	章晨曦	西安理工大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
5	高贇	西安理工大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
6	刘灵军	西安理工大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0