大口径光电经纬仪主反射镜支撑结构设计

• 作者: 乔彦峰 伞晓刚 卓仁善 孙宁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径光电经纬仪 主镜 支撑结构 面形精度
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3111-3117
• 页数: 7页
• 分类号: TH743|V556
• 字数: 2535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132112.3111

摘要

针对大口径光电经纬仪主镜的支撑结构对主镜面形精度的影响,对大口径光电经纬仪的Φ1 000 mm主镜的支撑结构进行了研究.分析了现有轴向和径向支撑结构的局限性,提出了适用于大口径主镜的新的轴向和径向支撑结构,并阐述了该支撑结构的工作原理和优势.利用有限元分析软件建立了主镜的参数化模型,优化了主镜轴向支撑点和径向支撑点的位置,并分析了主镜光轴在竖直和水平位置两个极限状态下的面形误差,计算得到了主镜在竖直状态下面形误差RMS值为2.52 nm;在水平状态下面形误差RMS值为4.33 nm.对主镜进行装调后,用光学干涉仪检测得到主镜光轴水平时面形精度RMS值为19.87 nm.仿真分析结果和实物检测结果都满足设计指标中面形误差RMS值小于λ/30的要求(λ=632.8 nm),验证了轴向和径向支撑结构的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔彦峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	1052	16.0	25.0
2	孙宁	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	547	10.0	23.0
3	卓仁善	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	43	4.0	5.0
4	伞晓刚	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	109	5.0	10.0