Ti6Al4V表面磁控溅射高硬SiC薄膜的摩擦磨损性能

• 作者: 潘应晖 许晓静
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 钛基材 薄膜 纳米压痕 摩擦磨损 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2013.06.013

摘要

采用室温磁控溅射技术在Ti6A14V表面制备出高硬SiC薄膜,对其组织结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能进行了研究.结果表明:实验制备的SiC薄膜呈非晶态,其纳米硬度、弹性模量分别为26.8GPa和229.4GPa;在以氮化硅球(半径为2mm)为对摩件的室温Kokubo人体模拟体液下,其磨损速率在10-5 mm3 m-1 N-1级,载荷低(50g)时摩擦因数约为0.173,载荷高(200g)时摩擦因数约为0.280,此时薄膜自身发生局部破裂.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许晓静	江苏大学先进成形技术研究所	227	1298	17.0	26.0