采用ALD方法制备TiO2/Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来增强背镀结构的反射效率

• 作者: 崔一平 张雄 郭浩 陈洪钧
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 背反射镜 布拉格反射镜 金属反射镜 原子层沉积
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 431-436
• 页数: 6页
• 分类号: O782|O435.1|O48231
• 字数: 418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2013.04.001

摘要

首次采用原子层沉积法制备TiO2/Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来制备了高反射率的背反射镜.制备的多层布拉格反射镜加Al镜和多层布拉格反射镜加Ag镜有很好的平整度和厚度的精确性,并且反射率高于96％.此外,TiO2/Al2O3布拉格反射镜和Al与蓝宝石衬底都有良好的粘合性,这样可以节省制备步骤并且可以得到高质量的背反射镜.利用原子层沉积技术和TiO2/Al2O3布拉格反射镜,我们得到了高反射率,角度依赖性小,更加稳定以及均一性更好的背反射镜,可以满足高亮度LED的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔一平	东南大学电子科学与工程学院先进光子学中心	160	1201	18.0	26.0
2	张雄	东南大学电子科学与工程学院先进光子学中心	54	275	9.0	13.0
3	陈洪钧	东南大学电子科学与工程学院先进光子学中心	1	2	1.0	1.0
4	郭浩	东南大学电子科学与工程学院先进光子学中心	3	7	2.0	2.0