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摘要:
采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了Zn1-xCaxO薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)和荧光光谱仪研究了Ca掺杂量对Zn1-xCaxO薄膜结构和光致发光特性的影响.结果显示:Zn1-xCaxO薄膜属于纤锌矿多晶结构;随着 Ca含掺杂量的增加,薄膜衍射峰半高宽变大,薄膜质量变差;光致发光谱显示,随着 Ca掺杂量的增加,紫外发光谱峰发生了蓝移.
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文献信息
篇名 Zn1–xCaxO薄膜的结构和光学性质研究
来源期刊 新乡学院学报(自然科学版) 学科 物理学
关键词 磁控溅射 Zn1-xCaxO薄膜 光致发光
年,卷(期) 2013,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 112-113
页数 分类号 O472.3
字数 1728字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 谢谦 商洛学院物理与电子信息工程系 14 16 2.0 3.0
2 汤引生 商洛学院物理与电子信息工程系 17 21 2.0 3.0
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磁控溅射
Zn1-xCaxO薄膜
光致发光
研究起点
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新乡学院学报
月刊
2095-7726
41-1430/Z
大16开
河南新乡市金穗大道东段
1984
chi
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