一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法

• 作者: 徐大诚 耿赛柳 郭述文
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微加速度计 标度因数 自动标定
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 62-63,67
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2039字
• 语种: 中文

摘要

电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度.采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1,Cs2,Cf3个电容值,通过(1,0,-1 gn)三点即能确定标度因数(SF)和偏置电压,这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定.实验结果表明:通过多次自动定标,传感器标度因数的相对误差为0.79％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐大诚	苏州大学微纳传感器研究中心	60	259	8.0	13.0
2	郭述文	苏州大学微纳传感器研究中心	10	39	3.0	5.0
3	耿赛柳	苏州大学微纳传感器研究中心	1	3	1.0	1.0