光栅铝膜纳米压痕尺寸效应分析

• 作者: 刘哲 史国权 徐志伟 石广丰 蔡洪彬
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅铝膜 纳米压痕 尺寸效应
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 70-73,69
• 页数: 5页
• 分类号: TH164
• 字数: 2448字
• 语种: 中文

摘要

研究光栅铝膜尺寸效应对于指导衍射光栅机械刻划工艺十分重要,对现有光栅铝膜进行了纳米压痕实验,从实验中获得光栅铝膜材料的力学性能参数.通过实验数据可知,光栅铝膜材料在微米级范围内存在明显的尺寸效应.利用三种尺寸效应模型Meyer模型、PSR模型及MPSR模型对光栅铝膜材料尺寸效应进行描述并分析,说明了几种模型在不同压深情况下的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
2	史国权	长春理工大学机电工程学院	88	340	9.0	15.0
3	蔡洪彬	长春理工大学机电工程学院	13	52	4.0	6.0
4	徐志伟	长春理工大学机电工程学院	3	13	2.0	3.0
5	刘哲	长春理工大学机电工程学院	3	13	2.0	3.0