基于CCD尺寸测量中图像边缘退化及恢复技术研究

• 作者: 刘宾 王黎明 赵霞
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 尺寸测量 直边衍射 边缘退化 边缘恢复
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 995-999
• 页数: 5页
• 分类号: TN913|TP394.1
• 字数: 2292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201334.0603002

摘要

针对直边衍射效应造成的图像边缘退化问题,建立边缘退化模型.从菲涅尔直边衍射理论出发,基于信号与系统理论的图像边缘退化数学描述方法,分析了造成图像边缘退化的原因.通过分析不同光源波长和成像物距下直边衍射强度分布曲线的特点,构造简单函数实现衍射光强分布的近似,进而得到退化系统传递函数;利用退化系统传递函数构造滤波器对获取图像的边缘进行恢复,从而提高尺寸测量精度.实验结果表明:经边缘恢复方法校正后的测量结果误差约为0.02 mm,相对未校正数据的测量结果误差减小0.04 mm,提高了尺寸测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宾	中北大学电子测试技术国家重点实验室	59	143	5.0	9.0
2	王黎明	中北大学电子测试技术国家重点实验室	97	370	10.0	14.0
3	赵霞	中北大学电子测试技术国家重点实验室	24	82	5.0	8.0