Mn掺杂对ZnO∶Mn薄膜结构特性的影响

• 作者: 介琼 倪晓昌 张宇 李彤 赵新为
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO Mn 拉曼 稀磁半导体
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 1167-1172
• 页数: 6页
• 分类号: TB34|TB43
• 字数: 3454字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133409.1167

摘要

利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上室温沉积了一系列不同Mn掺杂的ZnO∶ Mn薄膜.结合Raman光谱,XRD谱和SEM分析了ZnO∶ Mn薄膜的结构特性.Raman拟合结果显示,在Mn摩尔分数从0增加到5.6％的过程中,ZnO∶ Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构；随着Mn掺杂浓度的增大,437 cm-和527 cm-位置上的Raman散射峰出现红移现象,说明Mn掺杂量的增加导致晶格更加无序,缺陷增多；当Mn摩尔分数达到15.8％时,647 cm-处的Raman散射峰出现,暗示了MnO的产生,同时薄膜结晶质量变差.这一结论也得到了XRD和SEM结果的支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宇	天津职业技术师范大学电子工程学院	15	81	3.0	8.0
2	介琼	天津职业技术师范大学电子工程学院	7	11	3.0	3.0
3	李彤	天津职业技术师范大学电子工程学院	18	16	3.0	3.0
4	赵新为	天津职业技术师范大学电子工程学院	6	5	1.0	2.0
6	倪晓昌	天津职业技术师范大学电子工程学院	37	62	4.0	5.0