MEEVA源生成Ti金属等离子体粒子密度和电离度的原子发射光谱诊断

• 作者: 史学伟 吴先映 李璟 王锴 邓春凤
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 关键词: MEVVA Ti等离子体 等离子体发射光谱诊断 Saha-Boltzmann方程法
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 571-577
• 页数: 7页
• 字数: 7420字
• 语种: 中文

摘要

利用原子发射光谱对等离子体粒子密度进行诊断的 Saha-Boltzmann方程法，并对其进行了改进。并结合多谱线斜率法，针对用英国 avantes公司生产的 AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪采集到的金属蒸汽真空弧(MEVVA)源生成的金属钛等离子体的发射光谱，对其电子、离子温度，电子、原子、一价离子和二价离子密度，原子和一价离子电离度进行诊断；对 MEVVA Ti等离子体的热力学状态进行了判断；从而实现MEVVA Ti等离子体的发射光谱诊断。此外，还对 MEVVA Ti等离子体参数随离子源工作弧压的变化情况进行了讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓春凤	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	6	6	2.0	2.0