铝台阶／氟化锂激光压缩复合靶的制备与测量

• 作者: 傅思祖 叶君建 方智恒 杜艾 舒桦 谢志勇 黄秀光
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 激光 非冲击压缩 铝 氟化锂 离子束刻蚀
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 2146-2151
• 页数: 6页
• 分类号: TL62
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2013.47.11.2146

摘要

本文主要介绍用于激光加载材料非冲击压缩实验研究中的铝台阶/氟化锂复合靶的制备与相关参数的测量。铝台阶/氟化锂复合靶主要通过光学抛光减薄、离子束刻蚀台阶、表面减反膜制备、铝薄膜的精密轧制以及薄膜精密装配等加工技术与工艺流程制备。制备的铝台阶/氟化锂复合靶基本满足物理实验要求，获得了较好的实验结果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方智恒		10	20	2.0	3.0
2	傅思祖		13	55	5.0	7.0
3	杜艾	同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	18	67	5.0	7.0
4	黄秀光		13	59	5.0	7.0
5	叶君建		11	36	3.0	5.0
6	谢志勇		11	14	2.0	3.0
7	舒桦		5	25	2.0	5.0