Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7/Ba0.5Sr0.5TiO3复合薄膜介电性能的频率特性研究

• 作者: 李汝冠 蒋书文 高莉彬
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 频率特性 介电调谐 介电损耗 介电常数 铌酸锌铋(BZN) 钛酸锶钡(BST)
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: TM53
• 字数: 4915字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2013.06.007

摘要

采用射频磁控溅射法在蓝宝石基片上制备了Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7 (BZN)/Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST)双层复合薄膜,并研究了该薄膜在100 kHz～6 GHz频率范围内的介电性能.研究结果表明,BZN/BST复合薄膜的介电性能具有良好的频率稳定性.该复合薄膜的介电常数在研究的频率范围内基本与频率无关;其介电损耗在频率低于1 GHz时与频率无关,在频率高于1 GHz时随频率的上升而略微增大；薄膜在研究的频率范围内具有稳定的介电调谐率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋书文	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	30	197	7.0	12.0
2	李汝冠	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	17	2.0	3.0
3	高莉彬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	5	1.0	2.0