基板玻璃翘曲度的精密随动测量技术

• 作者: 刘冲 常婷 邵伟 郭俊杰
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 翘曲度 随动扫描测量 RAPW_GMV控制 实时修正
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 221-225
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2013.03.05

摘要

针对大尺寸基板玻璃翘曲度的精密测量,提出基于实时整定多项式权值的广义最小方差(RAPW_GMV)随动扫描测量方法.主要思想是根据实时估计的被控对象参数及RAPW_ GMV输出误差修正多项式的权值,实现测头自动跟踪扫瞄测量.实验证明,该方法小位移精密测头自动测量未知曲面的跟踪误差优于0.02 mm,实现了基板玻璃翘曲度的快速、高精度自动测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭俊杰		50	343	9.0	16.0
2	邵伟		30	141	7.0	11.0
3	刘冲		9	36	4.0	5.0
4	常婷		1	1	1.0	1.0