基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
为了减低非晶硅薄膜太阳能电池的光致衰减效应和提高其光电转换效率,用等离子体化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,用波长为248nm的KrF准分子激光器激光晶化了非晶硅表层,用共焦显微喇曼测试技术研究了非晶硅薄膜在不同的激光能量密度和不同的频率下的晶化状态,并用扫描电子显微镜测试晶化前后薄膜的形貌.结果表明,随着激光能量密度的增大,薄膜晶化效果越来越好,能量密度达到268.54mJ/cm2时晶化效果最好,此时结晶比约为76.34%;最佳的激光能量密度范围是204.99mJ/cm2~268.54mJ/cm2,这时薄膜表面晶化良好;在1Hz ~ 1OHz范围内,激光频率越大晶化效果越好;晶化后薄膜明显出现微晶和多晶颗粒,从而达到了良好的晶化效果.
推荐文章
准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜
薄膜
多晶硅
准分子激光退火
能量密度
搭接率
线形光束
非晶硅薄膜厚度及特性对准分子激光晶化的影响
非晶硅薄膜
准分子激光晶化
折射率
薄膜晶体管器件特性
用金属诱导-准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜
多晶硅薄膜
金属诱导-准分子激光晶化
NiSi2
准分子激光角膜表层屈光手术发展历程
准分子激光角膜切削术
准分子激光上皮瓣下角膜磨镶术
经角膜上皮的激光角膜切削术
屈光手术
近视
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化
来源期刊 激光技术 学科 物理学
关键词 激光技术 微晶硅 激光晶化 多晶硅 本征非晶硅
年,卷(期) 2013,(2) 所属期刊栏目 激光材料和光学元件
研究方向 页码范围 151-154
页数 4页 分类号 O484.4+1
字数 1770字 语种 中文
DOI 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.02.004
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 黄明举 河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室 53 338 12.0 16.0
2 周德让 河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室 4 3 1.0 1.0
3 韩俊鹤 河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室 21 91 6.0 9.0
4 段国平 河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室 4 6 2.0 2.0
5 陈俊领 河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室 2 5 2.0 2.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (29)
共引文献  (10)
参考文献  (7)
节点文献
引证文献  (2)
同被引文献  (2)
二级引证文献  (1)
1988(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1989(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1990(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1992(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1993(3)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(3)
1994(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1997(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1998(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2000(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2001(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2002(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2003(4)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(3)
2004(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2005(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2006(5)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(4)
2007(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2008(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2009(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2011(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2013(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2016(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2018(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
激光技术
微晶硅
激光晶化
多晶硅
本征非晶硅
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光技术
双月刊
1001-3806
51-1125/TN
大16开
四川省成都市238信箱
62-74
1971
chi
出版文献量(篇)
4090
总下载数(次)
10
总被引数(次)
25972
论文1v1指导