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本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化
本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化
作者:
周德让
段国平
陈俊领
韩俊鹤
黄明举
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光技术
微晶硅
激光晶化
多晶硅
本征非晶硅
摘要:
为了减低非晶硅薄膜太阳能电池的光致衰减效应和提高其光电转换效率,用等离子体化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,用波长为248nm的KrF准分子激光器激光晶化了非晶硅表层,用共焦显微喇曼测试技术研究了非晶硅薄膜在不同的激光能量密度和不同的频率下的晶化状态,并用扫描电子显微镜测试晶化前后薄膜的形貌.结果表明,随着激光能量密度的增大,薄膜晶化效果越来越好,能量密度达到268.54mJ/cm2时晶化效果最好,此时结晶比约为76.34%;最佳的激光能量密度范围是204.99mJ/cm2~268.54mJ/cm2,这时薄膜表面晶化良好;在1Hz ~ 1OHz范围内,激光频率越大晶化效果越好;晶化后薄膜明显出现微晶和多晶颗粒,从而达到了良好的晶化效果.
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内容分析
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文献信息
篇名
本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化
来源期刊
激光技术
学科
物理学
关键词
激光技术
微晶硅
激光晶化
多晶硅
本征非晶硅
年,卷(期)
2013,(2)
所属期刊栏目
激光材料和光学元件
研究方向
页码范围
151-154
页数
4页
分类号
O484.4+1
字数
1770字
语种
中文
DOI
10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.02.004
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
黄明举
河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室
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2
周德让
河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室
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韩俊鹤
河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室
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段国平
河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室
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陈俊领
河南大学物理与电子学院河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室
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激光晶化
多晶硅
本征非晶硅
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光技术
主办单位:
西南技术物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1001-3806
CN:
51-1125/TN
开本:
大16开
出版地:
四川省成都市238信箱
邮发代号:
62-74
创刊时间:
1971
语种:
chi
出版文献量(篇)
4090
总下载数(次)
10
总被引数(次)
25972
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