高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备

• 作者: 严帅 崔林 汪桂根 王新中 秦国双 韩杰才
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 图形衬底 电子束光刻 剥离 发光二极管
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 页码范围: 1498-1503
• 页数: 6页
• 分类号: TN312.8
• 字数: 3861字
• 语种: 中文

摘要

首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜；最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应.在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究.SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24h后,其图形形貌没有发生明显改变；在温度低于1200℃的高温热处理1h后,图形仍然存在.HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24h后再在1000℃高温热处理1h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜；并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高.本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩杰才	哈尔滨工业大学深圳研究生院	298	4663	35.0	52.0
5	严帅	哈尔滨工业大学深圳研究生院	6	24	2.0	4.0
6	王新中		25	40	4.0	5.0
7	汪桂根	哈尔滨工业大学深圳研究生院	11	119	6.0	10.0
8	崔林	哈尔滨工业大学深圳研究生院	3	9	1.0	3.0
9	秦国双	哈尔滨工业大学深圳研究生院	1	1	1.0	1.0