改良西门子法多晶硅产品质量分析

• 作者: 刘林 曹礼强 赵北君
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 改良西门子法 三氯氢硅 多晶硅 产品质量分析
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 页码范围: 1492-1497
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 4146字
• 语种: 中文

摘要

以工业硅为原料采用改良西门子法生产出质量优良的多晶硅,分别采用ICP-MS、低温傅立叶变换红外光谱、硅多晶气氛区熔基P检验法和真空区熔基B检验法等,对三氯氢硅中的杂质和多晶硅产物中的P、B、C、O含量及其P、B电阻率进行了检测,报道了改良西门子法获得的优质多晶硅产品质量检测数据；对影响多晶硅产物质量的各种因素,包括原料混合气进料量变化,还原炉内生长温度,生长过程中AEG电气的电压、电流变化,以及中间产品精制三氯氢硅、氢气的质量等进行了分析讨论.研究结果对于稳定生长高质量多晶硅具有重要参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵北君	四川大学材料科学系	132	744	14.0	19.0