双靶共溅射TiAl系高温耐磨薄膜制备与研究

• 作者: 张晔 李长生 殷春云
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 双靶共溅射 金属间化合物薄膜 物相结构 高温摩擦行为
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.43
• 语种: 中文

摘要

在同一次双靶共溅射过程中,通过改变基体相对于靶材的位置制备了不同化学成份TiAl系金属间化合物薄膜.采用EDS、XRD、SEM、AFM等手段对薄膜的成分、物相结构和表面形貌进行了表征,并对薄膜的高温摩擦行为进行了分析研究.实验结果表明:薄膜的化学成分、物相结构、表面形貌都随着溅射位置的改变而发生变化,500℃以下时位于双靶中间位置的薄膜具有体系中最佳的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷春云	常州机电职业技术学院模具技术系	6	9	2.0	2.0
2	张晔	常州机电职业技术学院模具技术系	2	3	1.0	1.0
3	李长生	常州机电职业技术学院模具技术系	1	0	0.0	0.0