基于SU-8胶的新型被动式微型阀

• 作者: 丁桂甫 张丛春 郭泰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机系统 微流控 被动式微阀 SU-8
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1011-1016
• 页数: 6页
• 分类号: TH134.1
• 字数: 2281字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132104.1011

摘要

为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀.选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,15,20 μm)的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力,进而确定了合适的阀门膜片厚度.利用微细加工技术,集成加工了微型阀,并由此确定和优化了微型阀的加工工艺.用去离子水作为介质测试了微型阀的过流特性,在正向压力为11.7 kPa的压力作用下,测得A、B型被动式微阀的正向流速分别为1.66 ml/min和1.35 ml/min.对测试数据的分析表明,设计的微型阀有线性控制的潜能.以SU-8胶作为结构材料的微型阀不仅性能较好,同时具有生物兼容性,可扩展微型阀的应用范围.