Influence of Hysteretic Behaviour in Reactive Magnetron Sputtering on the Crystal Structure and Characteristics of Aluminium Oxide Films

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篇名	Influence of Hysteretic Behaviour in Reactive Magnetron Sputtering on the Crystal Structure and Characteristics of Aluminium Oxide Films
来源期刊	等离子体科学和技术（英文版）	学科
关键词
年，卷（期）	2013,（8）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	807-811
页数		分类号
字数		语种	英文
DOI	10.1088/1009-0630/15/8/17

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