金属诱导横向晶化非晶硅薄膜技术及新发展

• 作者: 刘超然 夏委委 李冬雪 李天昊 段智勇 汪浩
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金属诱导 横向晶化 低温 活化能 多晶硅薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 592-598
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.09.010

摘要

金属诱导横向晶化技术(MILC)由于具有晶化温度低、晶化颗粒大等优点而获得了快速发展.阐述了金属诱导横向晶化非晶硅薄膜的晶化机理、晶化效果及影响晶化效果的主要参数,并介绍了基于多种辅助措施,如离子掺杂、电磁场辅助、微波退火、激光退火、氮硅化合物覆盖法和焦耳热升温法等方法,以优化金属诱导横向晶化非晶硅薄膜.辅助措施均有利于增强晶化效果,更易获得大面积无孪晶多晶硅薄膜,并具有较高的载流子迁移率.最后提出采用微纳金属阵列结构调控晶化能量,实现低温、高速、大晶粒直径的多晶硅薄膜制备新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段智勇	郑州大学物理工程学院	37	286	10.0	15.0
2	汪浩	电子科技大学电子工程学院	5	21	3.0	4.0
3	李冬雪	郑州大学物理工程学院	8	28	4.0	5.0
4	刘超然	郑州大学物理工程学院	4	21	3.0	4.0
5	李天昊	郑州大学物理工程学院	4	21	3.0	4.0
6	夏委委	郑州大学物理工程学院	4	21	3.0	4.0