Cr层厚度对Pd/Cr/Co多层膜光学性质的影响

• 作者: 周勋 李琼敏 韦俊 黄代洪
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多层膜 光学常数 椭偏仪 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.0
• 语种: 中文

摘要

本文利用磁控溅射的方法生长不同Cr插层厚度的Pd/Cr/Co多层膜,并利用椭偏仪对多层膜的光学常数进行测量.得到了入射光波长在250nm-850nm范围内多层膜的折射率、反射率、吸收系数以及复介电常数的曲线,在此数据的基础上分析了Cr插层厚度对多层膜光学参数的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦俊	贵州师范大学物理与电子科学学院	9	4	2.0	2.0
2	周勋	贵州师范大学物理与电子科学学院	65	213	6.0	12.0
3	李琼敏	贵州师范大学物理与电子科学学院	10	12	2.0	2.0
4	黄代洪	贵州师范大学物理与电子科学学院	2	0	0.0	0.0