新型三维MEMS矢量水听器的设计

• 作者: 张国军 李振 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 矢量水听器 MEMS ANSYS 仿生
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 950-954
• 页数: 5页
• 分类号: TB565.1
• 字数: 1750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.07.010

摘要

根据国内对高灵敏度、低频小体积三维矢量水听器的需求,提出了一种仿鱼侧线纤毛的MEMS三维矢量水听器.该水听器采用多纤毛结构分别用来接收X、Y与Z方向的声信息,采用ANSYS进行仿真,静力分析得出了布放压阻的合理位置,谐响应分析得出该结构的固有频率在1.5 kHz左右;驻波桶校准测试结果表明:该水听器的灵敏度范围在-200 dB到-180 dB左右;在25 Hz～2 000 Hz频段内具有良好的频响特性;指向性分辨率大于等于30 dB,具有良好的“8”字形指向性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
5	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
9	李振	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	19	3.0	4.0