基于SU-8的高质量平面微透镜阵列压印新方法

• 作者: 张勇 张斌珍 李向红 范新磊
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 仿生复眼 压印 热熔 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 微透镜阵列
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 242-247
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.04.009

摘要

提出一种采用紫外光刻工艺及压印快速制造平面微透镜阵列的新技术.首先采用光刻工艺制作出平面圆柱形阵列,然后用热熔法将圆柱形阵列转化为微透镜阵列.以此微透镜阵列为母板,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)复制出和母板相反的模具,利用毛细效应,以SU-8为结构材料,通过特殊的压印方法得到平面微透镜阵列,可用于平面仿生复眼以及晶椎的最后制作.经过测试微透镜阵列的表面形貌和成像结果,可发现制备后的微透镜阵列聚光性能良好、光强均匀、无气泡和表面形貌均匀,解决了传统方法制作气泡多、表面形貌差的缺点.基于此方法加工的平面微透镜阵列对光学仿生复眼的进一步研究提供了有益参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学电子测试技术重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	张勇	中北大学电子测试技术重点实验室	19	118	5.0	10.0
9	李向红	中北大学电子测试技术重点实验室	5	18	3.0	4.0
13	范新磊	中北大学电子测试技术重点实验室	2	6	2.0	2.0