基于MEMS技术新型湿度传感器的研制

• 作者: 吴大军 唐祺 杨姗姗 温殿忠
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 聚酰亚胺(PI) 湿度传感器 COMS工艺 灵敏度
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 570-575
• 分类号: TH703|TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.09.006

摘要

描述了新型金属-Al2O3-PI-金属电容式湿度传感器的结构及工作原理,利采用Matlab 软件模拟了介电常数和湿度的关系,采用MEMS技术制造了新型湿度传感器,设计了测试方案,测量和分析了该新型湿度传感器的灵敏度特性和迟滞特性,分析了测试数据产生偏差的原因.测试结果显示,湿度传感器的灵敏度为单位湿度变化8 pF,湿度低于RH80％,线性度非常好.湿度传感器的迟滞特性良好,在RH70％时,迟滞差最大约为RH3％.分析结果表明,该湿度传感器结构合理,工艺成功,重点解决了该传感器的涂覆聚酰亚胺后蒸铝工艺与CMOS标准工艺兼容问题.为利用CMOS标准工艺进行集成MEMS湿度传感器的研制做出了有益的尝试,传感器的线性度和迟滞特性指标符合要求,该新型湿度传感器在现代MEMS技术中具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温殿忠	黑龙江大学集成电路重点实验室	51	330	10.0	15.0
2	吴大军		11	21	2.0	4.0
6	杨姗姗	淮安信息职业技术学院电子工程学院	13	39	3.0	5.0
7	唐祺		1	2	1.0	1.0