多室镀膜机的结构特点与工业应用

• 作者: 刘坤 巴德纯 杨乃恒 王晓冬
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多室 直线式与集束式系统 大型镀膜设备 真空系统设计
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1-9
• 页数: 9页
• 分类号: O484|TB43
• 语种: 中文

摘要

首先介绍镀膜技术的分类、软硬衬底涂层设备的结构特点及多室系统、现代卷绕镀膜机单室、双室及三室的真空设计,其次介绍直线式与集束式多室镀膜机的结构特点,最后叙述大型真空镀膜设备工业应用及进展情况.(1Torr=133 Pa)

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓冬	东北大学机械工程与自动化学院	64	366	10.0	15.0
2	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
3	杨乃恒	东北大学机械工程与自动化学院	40	356	12.0	17.0
4	刘坤	东北大学机械工程与自动化学院	55	274	11.0	15.0