窄带FBAR带通滤波器设计

• 作者: 何婉婧 何移 周斌 李君儒 高杨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器(FBAR) 窄带滤波器 机电耦合系数 带宽 压电材料 先进设计系统(ADS)
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 487-493
• 分类号: TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.08.003

摘要

由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计.使用ADS射频仿真软件设计了一种通带为1.18～1.20 GHz的窄带薄膜体声波滤波器,分别通过比较增加无源电容元件、改变串并联谐振器面积比、在压电振荡堆内增加一层非压电层和采用两个中心频率不同的薄膜体声波滤波器串联这四种方法,得出窄带薄膜体声波滤波器的优化设计方案.设计得到的滤波器突破了压电材料本身机电耦合系数限定的带宽值,实现了窄带要求,并且带外抑制以及带内插损等设计指标均满足要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	何婉婧	西南科技大学信息工程学院	15	70	5.0	7.0
3	李君儒	西南科技大学信息工程学院	16	71	5.0	7.0
4	周斌	西南科技大学信息工程学院	11	64	5.0	7.0
6	何移	西南科技大学信息工程学院	11	65	5.0	7.0