“加窗”傅里叶变换表征极紫外薄膜

• 作者: 李文斌 段伟 王占山 王风丽
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 傅里叶变换 窗函数 自相关函数 厚度误差
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 163-169
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0307003

摘要

傅里叶变换法分析薄膜掠入射X射线反射率曲线是获得膜层厚度、界面粗糙度等重要结构信息的分析方法之一.在傅里叶变换分析中,窗函数的选择对变换结果有重要的作用.通过对比分析“矩形窗”傅里叶变换(FFT)和“小波窗”傅里叶变换(WFFT),发现WFFT有效抑制了FFT自相关函数出现的大量干扰峰,这对于分辨真假峰和邻近两个峰值具有重要的意义.此外,研究发现FFT和WFFT的膜层厚度分辨误差随着信号截取长度的增加呈非周期性振荡,该振荡变化与反射率曲线振荡有关,在布拉格衍射峰谷附近截断信号会得到较好的厚度分辨结果.对实验制备的单层Ni和四层Si/Ti/Ni/Ti薄膜进行了FFT和WFFT分析,验证上述结论,为分析非传统周期薄膜提供一种精确表征的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山		92	640	14.0	19.0
2	王风丽		27	135	7.0	9.0
3	李文斌		9	10	2.0	2.0
4	段伟		1	0	0.0	0.0