ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作

• 作者: 唐彬 席仕伟 张慧 王旭光 郑英彬 陈颖慧
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统(RF MEMS) 声表面波滤波器(SAW) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体器件
• 页码范围: 443-447,478
• 分类号: TH703|TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2013.06.009

摘要

传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f＜500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势.基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数.通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品.最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析.测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度.样品IDT指宽2 μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	59	173	8.0	10.0
2	席仕伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	59	4.0	7.0
3	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
4	陈颖慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	82	6.0	8.0
5	张慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	5	20	3.0	4.0
6	王旭光	中国工程物理研究院电子工程研究所	6	27	3.0	5.0