超声-重力耦合场分离设备的设计与制造

• 作者: 刘大为 孟艳平 尹海燕
• 来源期刊: 长春工程学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 超声-重力耦合场 微纳米颗粒 雕刻 键合
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 机械工程·电气工程
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TH162
• 字数: 1796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-8984.2013.03.006

摘要

利用超声-重力耦合场分离原理,设计并制造了一种分离微纳米颗粒的场流分离设备.通过对分离腔中流体层的声场和颗粒受力特性进行研究,确定分离设备的制作工艺,对基片的雕刻过程和键合过程的加工参数进行了优化,并对超声分离微纳米颗粒的发展方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟艳平	长春工程学院机电工程学院	4	15	1.0	3.0
2	尹海燕	长春工程学院机电工程学院	16	101	4.0	10.0
3	刘大为	长春工程学院机电工程学院	2	25	1.0	2.0