离子镀Ti1-xAlxN涂层的形貌及力学性能研究

• 作者: 宋慧瑾 鄢强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子镀 Ti1-xAlxN 涂层 力学性能
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 61-67
• 分类号: TB742
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.01.13

摘要

采用多弧离子镀和磁过滤阴极电弧离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层.研究了工艺参数对用Ti:Al=1:1的TiAl合金靶制备的Ti1-xAlxN涂层表观颜色的影响,以及以获得深色Ti1-xAlxN涂层为目的时工艺参数对涂层性能的影响.结果表明:不同工艺参数对Ti1-xAlxN涂层表观颜色的影响大小依次为基体偏压,真空度,沉积温度,霍尔离子源功率；离子镀Ti1-xAlxN涂层的膜基结合力较好,在脉冲偏压-150V、直流偏压-15V附近有硬度最高,在较高真空度、较高沉积温度、较高基体负偏压下制备的Ti1-xAlxN涂层的磨擦学性能较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋慧瑾	成都大学工业制造学院	40	54	4.0	5.0
2	鄢强		5	13	2.0	3.0