NiCr势垒肖特基技术

• 作者: 刘德实 刘旸 唐冬
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: NiCr 合金 三层金属
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 4-5,10
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1447字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2013.01.002

摘要

介绍了NiCr势垒的肖特基工艺流程.以S2845产品为例,讲解了肖特基金属势垒合金,三层金属蒸发,三层金属腐蚀三个工艺流程并做出详细说明,该产品研发成功,进行了大批量生产.同时对成品率的提高进行了阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐冬	中国电子科技集团公司第四十七研究所	6	11	2.0	3.0
2	刘德实	中国电子科技集团公司第四十七研究所	3	1	1.0	1.0
3	刘旸	中国电子科技集团公司第四十七研究所	7	3	1.0	1.0