二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析

• 作者: 唐锋 张敏 戴凤钊 王向朝
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 干涉图 相位提取 二维快速傅里叶变换 边缘误差 干涉图延拓
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 179-184
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0308002

摘要

基于ZYGO干涉仪实测干涉图,利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取,并与相移干涉相位测量结果进行比对,对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分析.结果表明直接二维FFT法干涉图边缘0.05R环形区域的相位提取误差最大,且决定了全局误差的大小.窗函数对边缘误差改善不明显,优化滤波器设计对边缘误差有一定改善.干涉图延拓能有效减小边缘误差,对于连续光学面检测而言是提高二维FFT法相位提取精度的最佳方法.干涉图载波频率为干涉图空间分辨率的1/13～1/3时均能得到较准确的测量结果,相位提取误差峰谷值(PV)可优于λ/20;载波频率越高,细节分辨能力越强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张敏	中国科学院上海光学精密机械研究所	184	2770	26.0	48.0
2	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
3	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
4	戴凤钊	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	0	0.0	0.0