Ba0.5Sr0.5TiO3铁电薄膜的微弧氧化成膜研究

• 作者: 张果戈 李文芳 王敏 郭会勇
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: Ba0.5Sr0.5TiO3 铁电薄膜 微弧氧化 介电性能
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 35-38
• 分类号: TG174.453
• 语种: 中文

摘要

以0.2 mol/L Ba(OH)2+0.2 mol/L Sr(OH)2溶液为电解液,采用微弧氧化法,在Ti板表面原位生长铁电薄膜,并对薄膜的物相构成、元素分布情况、截面结构及介电性能进行表征.结果表明:该工艺下制备的薄膜主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成,薄膜致密层内,Ba,Sr,Ti和O元素分布都较均匀,但在微弧氧化孔洞附近存在含量波动;该薄膜在1 kHz下的介电常数较优,为411.3.最后对微弧氧化沉积铁电薄膜的成膜过程进行了分析,提出了微弧氧化过程中可能存在的化学反应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文芳	华南理工大学材料科学与工程学院	157	1463	20.0	30.0
2	张果戈	华南理工大学材料科学与工程学院	13	25	3.0	4.0
3	王敏	广东技术师范学院机电学院	26	65	4.0	7.0
4	郭会勇		4	4	1.0	1.0