阳极氧化法制备壁垒型Al2O3绝缘膜的研究

• 作者: 叶芸 李松 林之晓 洪春燕 蒋亚东 郭凡 郭太良
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 阳极氧化 壁垒型Al2O3膜 绝缘性能 击穿场强
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 35-40
• 分类号: O462.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.01.08

摘要

采用阳极氧化法在Al膜上制备具有绝缘性能的壁垒型Al2O3膜,研究不同成分比例的电解液、阳极氧化电压对壁垒型Al2O3膜性能的影响.利用能量分散谱和扫描电镜观测壁垒型Al2O3膜的元素组成、表面形貌及厚度,并对其绝缘耐压性进行了测试.结果表明,所制备的Al2O3膜厚度均为纳米量级,在95％乙二醇,1.9％癸二酸铵,3.1％硼酸的电解液中,以300V恒定电压制备的壁垒型Al2O3膜拥有很好的绝缘性能,击穿场强可达5.25 Mv/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭太良	福州大学物理与信息工程学院	302	1102	15.0	21.0
2	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
3	叶芸	福州大学物理与信息工程学院	47	123	5.0	8.0
4	洪春燕	福州大学物理与信息工程学院	4	9	2.0	3.0
5	郭凡	福州大学物理与信息工程学院	6	10	2.0	3.0
6	李松	福州大学物理与信息工程学院	4	11	2.0	3.0
7	林之晓	福州大学物理与信息工程学院	1	4	1.0	1.0