非平衡磁控溅射沉积不同成分Ti-Ni合金薄膜的伪弹性研究

• 作者: 徐雪波 贺志勇 贺耀华 鲍明东
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 形状记忆合金 薄膜 纳米压入 伪弹性
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 28-31
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

应用非平衡磁控溅射离子镀方法沉积制备了五种不同成分的Ti-Ni合金薄膜,并在保护气体条件下于600℃进行了晶化退火处理.分析了薄膜的相结构,测定了薄膜的硬度和弹性模量,并利用纳米压入加载-卸载曲线分析研究了薄膜的伪弹性回复率,讨论了薄膜成分对硬度、弹性模量和伪弹性的影响规律.结果表明:富Ni薄膜的硬度、弹性模量和伪弹性均较高,但含Ni量达到一定值后,这些性能指标呈下降趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺志勇	太原理工大学表面工程研究所	72	696	15.0	23.0
2	鲍明东	宁波工程学院材料工程研究所	29	102	6.0	8.0
3	徐雪波	宁波工程学院材料工程研究所	14	65	4.0	7.0
4	贺耀华	宁波工程学院材料工程研究所	6	26	4.0	4.0