喷淋蚀刻模具钢的蚀刻深度研究

• 作者: 于兆勤 宋卿 张永俊 王冠
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 喷淋蚀刻 蚀刻液温度 喷淋压力 蚀刻深度
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 21-23
• 分类号: TG176
• 语种: 中文

摘要

采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小.分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于兆勤	广东工业大学机电学院	86	785	14.0	25.0
2	张永俊	广东工业大学机电学院	98	507	11.0	17.0
3	王冠	广东工业大学机电学院	28	61	4.0	6.0
4	宋卿	广东工业大学机电学院	6	8	2.0	2.0