用模拟退火法确定MgF2薄膜折射率和厚度

• 作者: 李斌成 郭春
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜参数测量 折射率测量 膜厚测量 模拟退火算法 MgF2
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 858-863
• 页数: 6页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132104.0858

摘要

研究了确定单层MgF2薄膜的物理厚度及其在深紫外/真空紫外波段折射率的方法.首先,利用钼舟热蒸发工艺在B270基底上制备了单层MgF2薄膜.然后,依据MgF2单层膜在不同入射角下的反射光谱,采用模拟退火方法确定了MgF2薄膜在170～260 nm波段的折射率和物理厚度,并与由椭圆偏振法确定的薄膜参数进行了比较.实验显示,采用模拟退火和椭圆偏振两种方法确定的MgF2薄膜厚度分别为248.5 nm和249.5 nm,偏差为0.4％；而用上述两种方法在240～260 nm波段确定的单层MgF2薄膜的折射率偏差均小于0.003.得到的结果证实了依据不同入射角下的反射光谱,用模拟退火方法确定MgF2薄膜厚度和折射率的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李斌成	中国科学院光电技术研究所	45	325	10.0	15.0
2	郭春	中国科学院光电技术研究所	8	41	3.0	6.0