大焦深数字灰度光刻物镜设计

• 作者: 胡思熠 许忠保
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 长焦深 相位型光瞳滤波器 无掩膜光刻
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 464-468
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7|TN202
• 字数: 2463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.04.011

摘要

为了提高数字灰度光刻系统的焦深，研究了基于点扩散函数稳定性的光瞳编码优化方法，在此基础上综合考虑系统的成像对比度和分辨率，利用工程计算软件MAPLE和光学设计软件ZEMAX设计了一种分辨率为1μm的含有5区相位型光瞳滤波器的长焦深数字灰度光刻系统。结果表明，系统调制传递函数表现出离焦不变性，在保证像方分辨率的前提下，系统的焦深被延拓到原有焦深的2.5倍以上，且在整个焦深空间内系统性能与焦点处保持一致，从而提高了光刻系统的工艺容限。所得实验结果与理论分析一致，说明了设计的可行性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许忠保	湖北工业大学机械工程学院	29	72	5.0	6.0
2	胡思熠	湖北工业大学机械工程学院	1	6	1.0	1.0